Le procédé de lithographie a été inventé en 1798 par le dramaturge allemand Alois Senefelder . Senefelder découvert que si il a attiré sur une dalle de calcaire avec de l'encre à base d'huile , puis freiné la pierre , il pourrait re- encre la pierre avec un rouleau et faire de multiples copies de l'image . L'encre du rouleau serait repoussé par la pierre humide , et le bâton que si la surface a déjà été signé . Il s'agissait d'une technologie d'impression plus polyvalent que le type , qui a manipulé les images et les textes basés sur des scripts mal - déplacer .
Lithographie et photographies
Senefelder découvert qu'un dessin original pourrait être utilisé pour transférer une image de la pierre pour la reproduction. Dans la seconde moitié du 19ème siècle , la photographie a été adapté à cet effet . La pierre a été préparé avec un revêtement de produits chimiques photosensibles . L'image originale a été imprimé sur une surface transparente , ou masque , puis utilisé pour masquer une partie de la surface , comme c'était le " exposée " de la même manière comme une plaque photographique .
photolithographie et Masques
Le processus d'utilisation de la lumière pour créer une image pour la reproduction a été transféré de l'impression à la fabrication de semi-conducteurs modernes . Dans cette utilisation , l'image désirée , ou un masque , est toujours créé sur verre revêtu ou une substance similaire . La lumière visible , ou une autre forme de rayonnement , est alors utilisé pour projeter ce modèle sur des plaquettes de silicium enrobées de produits chimiques photosensibles . Comme les lignes de maillots de bain sur un bain de soleil , le motif est laissé sur la surface . La surface est ensuite gravée , en supprimant alternativement le motif ou laissant le motif tout en enlevant les environs.
Masques , photolithographie et instruments électromécaniques ( MEMS )
Ce même base principes ont été mises à profit pour une nouvelle technologie connue sous le nom des dispositifs micro-électromécaniques ( MEMS) . MEMS sont minuscules , voire microscopique , des dispositifs qui se répliquent de la fonction des machines plus grosses , parfois sur une échelle aussi petite que quelques molécules . Pour atteindre le niveau de précision souhaité , masques utilisés dans les fonderies MEMS sont généralement créés plus grand que le produit fini , ensuite porté à travers un mécanisme de l'objectif à atteindre les spécifications désirées . Dans ces petites tailles , les distances focales des optiques utilisées et la profondeur de la tranche de silicium deviennent des considérations de conception importantes .